製造事例
Product Introduction
縦型インラインスパッタ装置


ロードロック室と成膜室の二室構造を採用。
最大3源のカソードを搭載可能な
縦型インターバック式スパッタ装置です。
特徴
- RF・DC対向スパッタカソードを搭載!
- プラズマダメージが極めて少なく高スループット性を実現
- プラスチック基板でも冷却不要。
- レシピ機能とデータフィードバック機能によって早い試作・検討が可能
構成
構成表
項目 | スペック | 適用条件 |
---|---|---|
基板サイズ | 300×300mm | ガラス又はフィルム |
処理枚数 | 1枚 | |
ターゲットサイズ | 5inch×15inch | |
成膜方式 | 2極RFスパッタ | 3kW 13.56MHz |
成膜レート | ~200Å/min | |
面内分布 | ±5%以下 | 補正板有 |
T-S間 | 50~100mm | |
処理時間 | 60min以内 | 排気時間含む |
最終到達真空度 | 5.0×10-5Pa以下 | 24hr以内 |
初期排気到達度 | 5.0×10-4Pa以下 | 20min以内 |
納入情報
製作期間:設計開始~出荷まで 約8か月
設置環境:屋内一般環境