搬送モジュールの受託製造

クラスター型スパッタ装置、搬送室の受託製造

受注範囲

• 組立
• リークテスト
• 性能試験

生産台数・納期

• 月産：3～4台
• 納期：1.5～2ヶ月（組立・テスト）

技術的ポイント

20年以上にわたる装置組立の実績をご評価いただき、
長年にわたり信頼をいただいております。

現在では、エンドユーザー向けのオプション取付まで社内で対応しており、
最終出荷まで一貫して任せられる体制として、高くご評価いただいています。