製造事例

Product Introduction

搬送モジュールの受託製造

チャンバー正面から

チャンバー側面から

製造風景

クラスター型スパッタ装置、搬送室の受託製造

受注範囲

  • 組立
  • リークテスト
  • 性能試験

生産台数・納期

  • 月産:3~4台
  • 納期:1.5~2ヶ月(組立・テスト)

技術的ポイント

20年以上にわたる装置組立の実績をご評価いただき、
長年にわたり信頼をいただいております。

現在では、エンドユーザー向けのオプション取付まで社内で対応しており、
最終出荷まで一貫して任せられる体制として、高くご評価いただいています。

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