Product Introduction
これまでに手掛けた装置や部品の一例をご覧いただけます。お客様の多様なニーズに応じ、幅広い製品を製作してきた実績があります。
縦型インラインスパッタ装置
クラスター型有機EL成膜装置
真空蒸着装置用チャンバー製作
小型昇華精製装置 SP-060V
卓上小型昇華精製装置 SP-15T
ドラム型連続昇華精製装置 SP-13D
真空環境試験装置 SC-cube
初期排気用真空配管
搬送モジュールの受託製造
エッチング装置の受託製造
調圧真空乾燥装置