製品紹介

装置事例(設計開発)

PVD装置
分析・測定装置
脱気装置
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受託製造事例

300φメタライゼーション300φメタライゼーション

凍結真空乾燥装置凍結真空乾燥装置

有機ELディスプレイ製造装置有機ELディスプレイ製造装置

真空排気セット真空排気セット

ドライエッチャードライエッチャー

有機薄膜形成装置有機薄膜形成装置

エッチング装置エッチング装置

エッチング装置エッチング装置

CMD装置CMD装置

有機ELパネル製造装置有機ELパネル製造装置

蒸着装置蒸着装置

凍結真空乾燥装置凍結真空乾燥装置

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配管設計事例

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加工部品事例

丸型チャンバー
角型チャンバー
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お問い合わせ
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