取り扱い装置一覧
半導体製造装置 / 有機EL・液晶パネル製造装置 / 太陽電池パネル製造装置 /
医薬品製造装置 / 食品加工装置 / 他
真空装置設計・製作
半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の設計・製作を行なっております。装置完成後の現地搬入・立上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。
真空装置受託製造
弊社は1985年の創業時より株式会社アルバック殿の協力会社として半導体・液晶製造装置の受託製造を行なっており、高い技術力を持っております｡
装置移設工事
装置設置後、御客様先のレイアウト変更に伴う装置移設工事も承っております。
真空チャンバー・配管製作
各種真空装置用のチャンバーの製作を行なっております。また、ガス配管・真空配管の製作を行なっております｡
2次側配管工事設計・施工
真空装置搬入後の装置と工場側ユーティリティー間の2次側配管工事の設計・施工を行っております｡
