半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。
装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。
排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。
また、各種実験装置の設計・製作に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。
真空装置設計・取り扱い装置一覧
真空装置設計
各企業様の研究・開発部門や各種研究開発機構様とのお取引をさせて頂いており、最先端技術を取り入れた技術の提供が可能です。
御客様の御要望に沿った装置設計が弊社の最も得意とするところです。
その他、ユニット、部品単体の設計や改造案件なども承っておりますので、お気軽にご相談下さい。
取り扱い装置一覧
半導体製造装置 ／ 有機EL・液晶パネル製造装置 ／ 太陽電池パネル製造装置 ／
医薬品製造装置 ／ 食品加工装置／ 他
組立・検査
組立
真空装置・真空検査用装置は、ゴミや油などの付着を極端に嫌い、その為、弊社組立ラインは全てクリーンルームになっています。
組立作業者はクリーンスーツ、帽子、手袋、マスクの着用が義務付けられており、装置自体の汚染防止及び組立ラインのクリーン度が保たれています。
検査
装置検査は、充分にトレーニングを積んだ作業者により、装置本体の気密性試験の他、ガス･圧空・冷却水配管等の気密性試験や流量測定が行なわれます。
また、装置の各機能試験や修正作業も、御客様の仕様に基づき行なわれます。
現地搬入・立上げ工事
現地搬入
一連の検査を完了させた後､装置は運搬のため、各ユニット単位まで解体されます｡
搬入先のほとんどは、御客様のクリーンルーム内であるため､2重または3重の梱包を施し､御客様のクリーンルーム内へのゴミ等の侵入を極力減らすよう心掛けております。
現地設置・立上作業
搬入先の装置搬入経路などは、事前に現地へ赴き、お客様との確認がなされます｡
装置搬入後、現地配置図を元に装置の設置が行なわれます｡
そして、経験豊富な弊社作業員が、装置の位置合せ、レベル調整を施し、ユニット単位に解体された装置をドッキングします。
その後、装置は気密性試験が行なわれ､ガス・圧空・冷却水等の配管が施された後、試運転が実施されます｡
弊社ではこのような一連の装置立上げ工程を、現地にてサポートしています。
