スパッタ装置
ジョセフン素子作成装置（アルミ・ニオブ）、タブテープ作成用ロールコータ（酸化クロム・銅）、プラスチック部品メタライズ装置、ワイヤー成膜要スパッタ装置、レーザービームスパッタ装置、実験用スパッタ装置（金・白金・チタン・SiO2）
蒸着装置
ドアミラー蒸着装置、シールド膜蒸着装置、有機ＥＬ実験用蒸着装置、アルミ膜蒸着装置
その他
プラズマＣＶＤ装置、ＥＣＲ成膜装置（ＣＶＤ）、排気セット
ジョセフン素子作成装置（アルミ・ニオブ）、タブテープ作成用ロールコータ（酸化クロム・銅）、プラスチック部品メタライズ装置、ワイヤー成膜要スパッタ装置、レーザービームスパッタ装置、実験用スパッタ装置（金・白金・チタン・SiO2）
ドアミラー蒸着装置、シールド膜蒸着装置、有機ＥＬ実験用蒸着装置、アルミ膜蒸着装置
プラズマＣＶＤ装置、ＥＣＲ成膜装置（ＣＶＤ）、排気セット
